设计产品首轮流片实施奖励。重点支持集成电路设计企业开展多项目晶圆（MPW）首轮流片或首轮工程流片（全掩膜）。对符合条件的企业，按照流片费用一定比例给予奖励，单个企业奖励金额不超过3000万元。 上海市人民政府办公厅印发的《上海市支持先进制造业转型升级三年行动方案（2026—2028年）》提出，支持集成电路企业瞄准装备、先进工艺、光刻胶材料、3D封装，实现全产业链突破，培育一批具有国际竞争力的龙头
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